|
課程名稱 |
超微細加工
ULTRA MICROMACHINING |
|
開課學期 |
94-2 |
|
授課對象 |
工學院 機械工程學研究所 |
|
授課教師 |
蔡曜陽 |
|
課號 |
ME5209 |
|
課程識別碼 |
522 U4910 |
|
班次 |
|
|
學分 |
3 |
|
全/半年 |
半年 |
|
必/選修 |
選修 |
|
上課時間 |
星期四6,7,8(13:20~16:20) |
|
上課地點 |
工綜211 |
|
備註 |
限45人
總人數上限：45人 |
|
Ceiba 課程網頁 |
http://ceiba.ntu.edu.tw/942micromachining |
|
課程簡介影片 |
|
|
核心能力關聯 |
核心能力與課程規劃關聯圖 |
|
課程大綱
|
|
為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
|
|
課程概述 |
去實現微機構(micro mechanism)與高密度情報通信裝置(device)等的微技術(micro-
techanology)可說是此新世紀最熱門的話題。要達到微細加工的條件不僅是加工單位需微
小、機械精度要求高，且其加工的原理與過去的傳統加工完全不一樣；乃是利用新的物理
與化學程序去達成的，可說是一門新技術的分野。
本課程的設計乃是以機械系的角度去介紹各種微細加工的特色，以及微機械的開發應用；
學習目標不只在學生對微細加工有更深的認識、也期待能了解新技術的建立原理。
|
|
課程目標 |
1.使學生更深入認識各種微細加工技術的形成及其建構的原理
2.使學生比較各種微細加工技術的特長與未來的發展 |
|
課程要求 |
|
|
預期每週課後學習時數 |
|
|
Office Hours |
|
|
指定閱讀 |
|
|
參考書目 |
|
|
評量方式
(僅供參考) |
|
No. |
項目 |
百分比 |
說明 |
|
1. |
期末報告 |
50% |
簡報發表佔期末報告50% (總成績25%)
全文報告佔期末報告50% (總成績25%) |
2. |
期中段考作業 |
50% |
作業擇優五次計算 |
3. |
課堂表現 |
10% |
含點名及上課表現 |
|
|
週次 |
日期 |
單元主題 |
|
第1週 |
2/23 |
課程簡介 |
|
第2週 |
3/02 |
微細加工導論 |
|
第3週 |
3/9 |
微細放電加工及其應用 |
|
第4週 |
3/16 |
微細放電加工及其應用 |
|
第5週 |
3/23 |
微細銑削加工及微鑽孔 |
|
第6週 |
3/30 |
超音波輔助振動微切削 |
|
第7週 |
4/06 |
鑽石磨粒加工
超精密奈米鏡面加工 |
|
第8週 |
4/13 |
超精密奈米鏡面加工 |
|
第9週 |
4/20 |
奈米級粉體材料之研磨 |
|
第10週 |
4/27 |
高密度能量束之微細加工 |
|
第11週 |
5/04 |
高密度能量束之微細加工 |
|
第12週 |
5/11 |
晶圓的微細加工技術(微影蝕刻) |
|
第13週 |
5/18 |
介面反應之微細加工 |
|
第14週 |
5/25 |
微電鑄與LIGA |
|
第15週 |
6/01 |
微射出成形 |
|
第16週 |
6/08 |
期末專題口頭發表 |
|
第17週 |
6/15 |
期末專題口頭發表 |
|